产品名字: g/i-line 薄胶

详细介绍:


类型 光刻胶型号 适用光谱 厚度范围/um 分辨率 适用工艺
g/i-line 薄胶 S1800系列 g-Line 0.5-3.5 0.5um 正性光刻胶,稳定性好;一般用于分辨率要求较高的先进IC制造,适用于aligner\stepper
 TDMR-AR80 HP 6CP i-Line  0.65-1.5 0.22um 正性光刻胶,极高分辨率
BCI-3511 i-Line 0.5-2 0.35um 正性i线化学放大光刻胶,适用于各类接触式光刻机(mask aligner)、stepper
SPR 955 i-Line 0.5-3.5 0.35um 正性i线光刻胶,适用于各类接触式光刻机(mask aligner)
AZ 1500 g/i-Line 0.5-5 1um 正性光刻胶,广泛应用于半导体制造

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