产品名字: 宽带厚胶

详细介绍:


类型 光刻胶型号 适用光谱 厚度范围/um 分辨率 适用工艺
宽带厚胶 SU-8 10系列 g/h/i-Line 0.1-200 0.5um 负性环氧类化学放大光刻胶,具有高深宽比,光刻后可以达到非常好的陡直度.
导电SU-8(GCM3060) 1-50 负性环氧类光刻胶;可导电、粘合性较好,图层应力降低
SPR220 g/h/i-Line 1—30 1um 正性光刻胶,用于MEMS和Bump工艺
NR26-25000P g/h/i-Line 20-130   负性光刻胶,适用于各类接触式光刻机(mask aligner)、stepper、scanner
AZ P4620 g/h/i-Line 6—20 1um 正性光刻胶

 

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